阿斯麦与SK海力士拟合作开发EUV光刻机氢气回收技术

发布时间：2024-12-19 05:50

据界面新闻，韩国产业通商资源部12月13日表示，总部位于荷兰的阿斯麦公司（ASML）计划扩大与韩国芯片制造商的业务合作。除ASML计划与三星电子共同投资1万亿韩元（约合7.04亿欧元）在韩国建芯片研究中心外，ASML还与韩国第二大芯片制造商SK海力士签署谅解备忘录，以开发回收极紫外（EUV）光刻机中使用的氢气的技术，以降低极紫外线光刻机能耗。

（来源同花顺，以上信息为南都·湾财社AI大数据自动生成）

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